真空爐一般由爐膛、電熱設備、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為避免爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛坐落密封爐殼內。
根據爐子用途,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件,如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空系統主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
1）在爐子真空度不低于13.3Pa的情況下通電烘爐，在爐溫緩慢升至1300℃的整個過程中，爐子真空度不應低于13.3Pa，經過充分烘烤，除氣后，壓升率到達技能要求時即可。
2）極限真空度測量：不低于6×1.0-4Pa。
3）工作真空度測量：不低于2.7Pa（在1000空爐時）。
4）壓升率測量：在真空爐加熱至1200℃時，經過充分烘烤除氣后，爐溫冷卻至100℃以下時再測壓升率，應到達0.5Pa/h。
5）回充氣體調試：當冷卻室真空度為1.33Pa時，關閉真空隔搶手、冷卻室真空閥，并當即向冷卻室爐充入氮氣0.06MPa時，時間應在2.5（秒）完結，而且加熱室的真空度不得低于670Pa。
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